多晶硅項目生產過程中產生的含氯有機廢液，廢液經廢液噴槍送至焚燒爐充分燃燒，焚燒產生的煙氣經余熱鍋爐回收熱能并經過除塵脫酸處理后排放到大氣，同時還可以回收高濃度的氯化氫溶液；含氟項目生產過程中產生的含氟有機廢液，廢液經焚燒爐充分燃燒，焚燒產生的煙氣經余熱鍋爐回收熱能并經過除塵脫酸處理后排放到大氣，同時還可以回收高濃度的氟化氫溶液。

多晶硅含氯（氟）廢液焚燒特點：

         1、焚燒爐本體采用立式爐結構，可以減少爐本體的占地面積，同臥式爐 相比，立式爐結構改變了耐火材料的受力狀況，完全避免了耐火材料在高溫情 況下可能出現的爆裂和坍塌現象。

         2、焚燒爐本體采用立式爐結構，底部設有沉降室，使得焚燒過程中產生 的部分Si02等粉塵能夠在爐本體內收集，減少煙氣帶出的粉塵置，減少后續設 備的壓力。

         3、爐體燃燒根據3TIE（溫度、時間、渦流、過剩系數）原則設計，確保 廢液在爐本體燃燒室內充分氧化、熱解、燃燒，使有機物破壞去除率達到九成以上。

         4、廢液和助燃空氣在焚燒爐內切向混合，其混合程度好、湍流度高、燃 燒速度及效率高，過?？諝庀禂档停晒澕s燃料。

         5、爐體整體溫度分布為低一高一低，頂部燃燒陶瓷部處于相對低溫部 800℃左右可較好地保護各個燒嘴。延長燒嘴使用壽命。

         6、穩定性高一設有啟動前不排除易爆氣體就不能點火的功能，以防氣爆， 爐內設有火焰檢知器，一旦爐內發生熄火或點火失敗，立即自動切斷廢液供 給，報警系統完善，使用可靠

         7、為確保系統安全．在爐體內設有度明燈性質的小型燃燒器，避免廢液 進料時因可能出現的不穩定，而產生突然熄火，后又起火的現象，較大限度杜 絕氣爆現象發生。

         8、所有進料管路設有氮氣吹掃系統確保整個系統不殘留可燃氣體，確保 系統正常。

         9、采用多項技術，使設備簡化，易于維修，并降低了運行成本。

        10、充分考慮廢液焚燒后的廢熱利用，可產生蒸汽供生產使用。

        11、充分考慮廢液焚燒后回收高濃度的酸溶液（濃度可達20%-25%）同時可以處理含氯（氟）廢氣。